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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
& m* X- R& z7 ~. T9 Z 应用背景
+ o9 s4 Q9 A( d6 d9 ` OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 $ O( |* n- {4 \3 G
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
0 H) X3 m0 s5 X. Y7 [" ]& P- C: t 应用测量原理介绍
5 e3 v% E7 O2 G6 ^; R8 _8 | ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
& K- C8 Y* V2 Q 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。
) u. c: Q: g( ~+ |% i 薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
0 W" M+ o q0 d9 t5 W: y) C' M8 h 微型光纤光谱仪优势 : \; j9 [5 f$ S
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
7 X, X6 j/ L0 ?) F w; y 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： : O7 K1 t2 C1 \. h4 J- o7 l) [
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紫外/可见光波段
- p" K( o8 R: `" Y1 D* \9 p, e 近红外波段 : {" x& O* m4 \* [ Y2 j
光谱仪
% x7 p" h$ ^% p- @: i2 [& n USB系列, HR系列, QE65000
; V3 A& n+ y1 r5 M/ t# i% X( ^, \, W NIRQUEST
5 ?: [3 C% K1 G" K2 n7 j. M 软件 ) k0 m; Z+ q& k. n* m$ s2 s" G( w
Oceanview 1.6.3 ! o" C" L+ f! e$ Q: t% s
光源
- B& X* t: B0 f- J* R9 P DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
6 X1 U. F3 m3 f% j$ d% j 光纤 # }+ l- p/ a$ x2 r
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
# Z/ U) P/ @: \. `) W VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 ' f' t% h" B! e' c: `. o. e
附件
% w) A/ z" A S0 N( v' H3 q' @ 74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T 0 J# k2 a2 X& ], C! k) O
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, q$ u+ B" {0 {; P0 @1 c 图2. 薄膜透过率测量系统配置
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图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率 " H7 e M1 t( L- e, z3 F* @
2. ITO薄膜膜厚检测 9 Q: _- c/ ~, x0 z( I
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下：
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图4. 薄膜厚度测量系统配置
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8 i4 X& x5 L+ P& |) v 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
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图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 ) K5 l- y/ ^# @2 ^4 t5 O
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