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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。 . v' a) y" `! g. Z; T( {+ T
应用背景 + w, t. B& c% a3 |: }, D
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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, r9 p8 r3 y/ s3 {8 Y0 E 图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
& q, F, ?4 j/ W) D4 x. H6 R 应用测量原理介绍 " Z3 z& i& f4 g% c. \
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： ; ?6 Y0 w2 x, A# e- p
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。
: j. a" m7 s0 A0 B8 { 薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 ! k0 f3 `6 B Q& Y5 f* r0 i7 U
微型光纤光谱仪优势
9 s* {3 c% L. I1 Z: i" X 微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
% w4 S1 V. `: O+ q. G6 S; {1 k+ }1 v 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： 5 L& k8 g6 E3 n) @" M
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# T' w( P; [- f3 F 紫外/可见光波段 Y0 J6 J7 C, W; U3 ~
近红外波段 4 b3 }* x9 w. G5 R ~5 [& Q) e
光谱仪 ' u" F( k2 E6 g6 E2 [+ U6 j
USB系列, HR系列, QE65000 ) c, k8 _* l) K$ m6 r
NIRQUEST : e/ b' v L' N2 r- J. B
软件 % g9 J$ Y0 u! k6 i, {8 }
Oceanview 1.6.3 9 L: j- c3 l/ ?1 A% T. e5 }4 v3 d
光源
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光纤
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9 J# \) d, i$ F VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 & S; ~$ Y3 L$ ?# b% M8 x
附件
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/ c' h' N6 _" X8 p+ \: U, C# @ 图2. 薄膜透过率测量系统配置 3 `7 J* V% b+ l( z" x4 U: f
' A1 g6 [) }) z1 {: f& l 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
# A5 D/ h( U& o. I 2. ITO薄膜膜厚检测 ! U0 Q! l- I2 m
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： ) ^6 n4 W: H5 ~6 F. }
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图4. 薄膜厚度测量系统配置
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
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) G8 ]; o* Q+ T; a% R1 I' ?& ^ 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
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